CyberOptics将在SEMICON China展会上展示计量和检测解决方案

2021年3月，明尼苏达州，明尼阿波利斯--CyberOptics®公司（NASDAQ：CYBE）是高精度3D传感技术解决方案的全球领先的开发制造商，将参展SEMICON China，并在展会上展示装备Multi-Reflection Suppression™(MRS™)传感器的WX3000™计量与检测系统。SEMICON China将于2021年3月17-19日在在上海新国际博览中心隆重举行，CyberOptics公司展位号：N1馆1387#和1325#。该公司还将展示用于半导体工具设置和诊断的高精度WaferSense®传感器。mhRSMT技术网-China表面贴装技术-SMT表面贴装-SMT技术网【官网】

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集成到CyberOptics WX3000系统中的纳米分辨率MRS传感器可以提供亚微米的精度，小到25 µm。在保留其拒绝杂散多重反射能力的同时，它还增加了捕获和分析锡球、凸点和焊柱闪亮表面的镜面反射能力，使得可以对这些关键封装特征进行高精度检测和3D计量。完成100%的3D/2D检测和凸点计量，比其他技术快2～3倍，可提供每小时超过25片晶圆（300 mm）的生产能力。mhRSMT技术网-China表面贴装技术-SMT表面贴装-SMT技术网【官网】

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CyberOptics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士表示：“随着晶圆级和先进封装对高分辨率、高精度、100%检测和计量需求的不断增加，WX3000系统不仅满足了这些技术要求，而且还具有其他技术无法比拟的速度。”mhRSMT技术网-China表面贴装技术-SMT表面贴装-SMT技术网【官网】

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该公司还将对高精度传感器进行数字演示，这些传感器被工艺和设备工程师用于制造前端，以加速设备鉴定，缩短设备维护周期，降低设备费用，并优化预防性维护计划。WaferSense® Auto Resistance Sensor™(ARS，自动电阻传感器)支持实时测量半导体电化学沉积（ECD）应用中电镀槽接触电阻，In-Line Particle Sensor™(IPS，在线粒子传感器)24/7地检测和监控，发现并排除任何制造区域内气体和真空中0.1 µm以下的微粒。mhRSMT技术网-China表面贴装技术-SMT表面贴装-SMT技术网【官网】

有关更多信息，请访问www.cyberoptics.com。mhRSMT技术网-China表面贴装技术-SMT表面贴装-SMT技术网【官网】